在半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域，0.1℃的溫差波動(dòng)影響著百萬(wàn)級(jí)產(chǎn)品的生產(chǎn)線良率。面對(duì)華中半導(dǎo)體龍頭安芯美科技的高精度溫控需求，天加用硬核技術(shù)交出了一份標(biāo)桿級(jí)答卷。

　　項(xiàng)目背景　

　　芯片制造的“溫度生命線”　　

　　制冷空調(diào)系統(tǒng)，作為芯片生產(chǎn)車間的重要環(huán)境構(gòu)成，除了通過(guò)精確控制車間內(nèi)的溫度，確保工藝在最佳溫度范圍內(nèi)進(jìn)行，從而提高芯片的成品率外，還負(fù)責(zé)管理車間的濕度、潔凈度和氣流分布等環(huán)境因素。通過(guò)精確的環(huán)境管理，減少塵埃和污染物對(duì)芯片制造過(guò)程的影響，從而確保高質(zhì)量芯片生產(chǎn)工作。

圖｜安芯美科技公司

　　安芯美科技（湖北）——華中半導(dǎo)體/微電子制造核心企業(yè)，深耕芯片封裝測(cè)試、Mini/Micro LED顯示技術(shù)領(lǐng)域，其湖北咸寧生產(chǎn)基地承載著年產(chǎn)值25億元、600億顆芯片的封裝重任，其制冷機(jī)房建設(shè)是嚴(yán)苛的環(huán)境制程中的重要一環(huán)，也面臨諸多挑戰(zhàn)：

　　精度極限：26000㎡廠區(qū)需±0.3℃水溫精度· 持續(xù)作戰(zhàn)：24/7不間斷運(yùn)行的工藝?yán)鋮s系統(tǒng)· 環(huán)境對(duì)抗：夏季高溫高濕氣候下的穩(wěn)定性保障·?綠色剛需：省級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目強(qiáng)制節(jié)能減碳要求“這不僅是制冷，更是保障芯片良率的生命線?！表?xiàng)目負(fù)責(zé)人如是說(shuō)。

　　天加方案　

　　為芯片制造定制“溫度保險(xiǎn)箱”　　

　　天加技術(shù)團(tuán)隊(duì)在充分了解客戶需求，并進(jìn)行多次場(chǎng)景模擬分析研判后，最終采用3臺(tái)TICA TWSF0250.1GC1水冷螺桿機(jī)組組成多機(jī)聯(lián)控系統(tǒng)，并將工藝?yán)鋮s水與空調(diào)冷凍水系統(tǒng)分開(kāi)，避免交叉污染，創(chuàng)新性地采用三大技術(shù)策略，為客戶帶來(lái)“量體裁衣”的解決方案：

　　冗余備份設(shè)計(jì)：均衡運(yùn)行，自動(dòng)切換保障，互為備用

　　正偏離制冷量：出水溫度持續(xù)穩(wěn)定 水溫偏離≤±0.3℃

　　智能化控制算法：最低實(shí)現(xiàn)12℃低冷卻水工況下安全啟動(dòng)，主動(dòng)尋優(yōu)運(yùn)行，完美適配客戶業(yè)態(tài)工藝場(chǎng)景變化。并基于天加天加OptSeek智慧物聯(lián)數(shù)據(jù)平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)智慧運(yùn)維和能效實(shí)時(shí)診斷，數(shù)據(jù)三方公信共管，為客戶實(shí)現(xiàn)全生命周期系統(tǒng)解決方案。

圖｜項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)天加水冷螺桿機(jī)組

　　項(xiàng)目落地后，機(jī)組始終高效穩(wěn)定運(yùn)行，全年水溫波動(dòng)≤0.28℃，優(yōu)于設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)；目前已無(wú)故障運(yùn)行突破3569小時(shí)，基于增效運(yùn)行控制邏輯，可全年運(yùn)行費(fèi)用降低5%，年減碳34.3噸。

圖｜天加數(shù)據(jù)物聯(lián)平臺(tái)

　　該項(xiàng)目作為天加在半導(dǎo)體行業(yè)的系統(tǒng)樣板工程，驗(yàn)證了天加專業(yè)空氣制程在精密制造領(lǐng)域的可復(fù)制價(jià)值，也為破解高溫高濕地區(qū)精密溫控難題，提供了制冷機(jī)房的智能運(yùn)維范式。